信越化學積極投資光掩膜坯料事業
為了擴大光掩膜坯料事業,
信越化學工業株式會社將實施約140億日元的設備投資。
此次投資將分別在武生工廠(福井縣越前市)和直江津工廠(新瀉縣上越市)的舊工廠實施。武生工廠將新建廠房并強化高端ArF產品的生產設備,計劃于2021年4月前竣工。另一方面,直江津工廠將強化作為事業核心的通用ArF產品的生產設備,計劃在2019年年底前竣工。此次投資將使信越化學光掩膜坯料的生產能力提升30%。隨著半導體元件產量的增加和產品的不斷小型化,無論是通用ArF產品還是高端ArF產品,光掩膜坯料的全球需求都在不斷增長。信越化學將切實把握這些需求,進一步擴大事業規模。
【信越化學的光掩膜坯料事業】
長久以來,信越化學一直致力于研究開發半導體制造工序中使用的材料,光掩膜坯料便是其中的一種,并于2009年將其商業化,在直江津工廠正式開始了生產。2016年,武生工廠也開始生產該產品,在切實履行向客戶提供優質產品這一企業責任的同時,通過在兩個生產據點進行生產力圖達到分散事業風險的目的。在事業步入正軌后,信越化學開始推進高端產品的開發工作以滿足客戶需求。最終,我們成功地開發出了利用高精度微細加工技術生產的光掩膜坯料。信越化學的這一高端光掩膜坯料被認定為全球標準產品。
【光掩膜坯料】
是半導體制造工序中使用的光掩膜的材料。在硅晶片上繪制電路時,會使用光掩膜版作為電路的原版。